日期:2012-04-18 09:31
关 键 词：铜，钨，复合镀层，电沉积，工艺，性能
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1．工艺参数对镀层中钨质量分数的影响1．1镀液中钨质量浓度的影响图l是在温度为30℃、搅拌速率500 r／min和电流密度3 A／dm2的条件下，当镀液中含不同质量浓度的钨颗粒时，镀层中钨共沉积量的测定结果。由图1可知，钨共沉积量随钨颗粒在镀液中质量浓度的增大而增加，在35g/L左右时达到最大值，然后又缓慢减少。图1镀液中钨质量浓度与镀层中钨质量分数的关系Figure l Relationship between the mass concentration oftungsten particles in bath and the mass fraction