化学气相沉积系统的多片式活动电镀车台 - 电镀技术

化学气相沉积系统的多片式活动电镀车台
日期:2012-04-16 10:28
化学气相沉积系统内加热时具有的受热不均且加热缓慢的问题，因此而能达到提高电镀良率、缩短加热所需时间以减少整体作业成本的功效。