2Pa，系统从大气开始抽气60分钟可达到510-1Pa，压升为不大于 1Pa/H
5、整体漏率2.010-9Pam3/s。
6、最高使用压力0.3MPa(绝压)
真空系统
直空系统由分子深、无油干奈，高真空例门、管路、接头、控制单元组成。
1、在冷态、空载状态下系统从大气开始抽气，30分钟可达到 2Pa，60分钟可达到 5.0*10-1Pa
2、在真空系统和高真空腔体之间装有高真空阀门，高真空阀门:漏率5.0x10-11Pa.m3/s，使用压力范围:0.5MPa(绝压);
3、控制单元:实现真空系统为自动顺序动作，以提供安全互锁功能。
真空腔体采用S304不